三井化学EMS株式会社は、
ペリクルの製造・開発に関する事業を行う総合ペリクルメーカーです。

ペリクルの役割

ペリクルとは、LSI（大規模集積回路）やFPD（フラットパネルディスプレイ）製造時の露光工程において使用されるフォトマスク用防塵カバーです。
LSIやFPDの製造は、クリーンルーム内で行われますが、クリーンルーム内にもわずかなゴミや埃が存在します。露光時に、こうしたゴミや埃がフォトマスク上に付着すると、レジストに異常な結像が発生し、欠陥品となります。
フォトマスクにペリクルを取り付けることにより、ゴミや埃が付着した場合も、露光時の焦点をずらすことで異常結像による不良が発生しません。